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一種基于磁電阻效應(yīng)的濕度探測器
- 專利號:2021101743853 類型:發(fā)明專利 瀏覽:27次 發(fā)布時間:2025-11-29
本發(fā)明涉及濕度探測領(lǐng)域,具體提供了一種基于磁電阻效應(yīng)的濕度探測器,釘扎層置于反鐵磁層上,勢壘層置于釘扎層上,自由層置于勢壘層上,自由層的表面設(shè)有孔洞,孔洞不貫穿自由層,孔洞內(nèi)設(shè)有吸濕膨脹材料,反鐵磁層的材料為硬磁反鐵磁材料,釘扎層的材料為自旋性極化率高的金屬或半金屬,自由層的材料為磁各向異性弱的軟磁材料,勢壘層隔開釘扎層和自由層。通過測量在待測濕度環(huán)境中和未在待測濕度環(huán)境中,磁隧道結(jié)磁電阻的差異,確定待測環(huán)境的濕度。本發(fā)明具有濕度探測靈敏度高的優(yōu)點。
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