本發明公開了一種化學機械拋光機，其結構包括機箱、工作臺、工件放置座、密封拋光結構、機座、驅動箱，工作臺水平安裝于機箱上端，工件放置座嵌入安裝于工作臺內側，密封拋光結構位于工件放置座正上方，密封拋光結構豎直安裝于機座下端，驅動箱嵌入安裝于機座內側，密封拋光結構包括密封結構、連接座、卡板、旋轉軸、活動結構，密封結構水平安裝于連接座下端，旋轉軸豎直安裝于卡板上端，活動結構活動連接于連接座上端，本發明在連接座下端設置了密封結構，防止粉塵飄出，進而保護了工作臺內側，使工件放置座的切換更加順暢；在連桿結構下端設置了密封板，防止粉塵飄出，并且更好的對粉塵進行收集，減少了粉塵的附著。