本發(fā)明公開了一種化學(xué)機械拋光機，其結(jié)構(gòu)包括機箱、工作臺、工件放置座、密封拋光結(jié)構(gòu)、機座、驅(qū)動箱，工作臺水平安裝于機箱上端，工件放置座嵌入安裝于工作臺內(nèi)側(cè)，密封拋光結(jié)構(gòu)位于工件放置座正上方，密封拋光結(jié)構(gòu)豎直安裝于機座下端，驅(qū)動箱嵌入安裝于機座內(nèi)側(cè)，密封拋光結(jié)構(gòu)包括密封結(jié)構(gòu)、連接座、卡板、旋轉(zhuǎn)軸、活動結(jié)構(gòu)，密封結(jié)構(gòu)水平安裝于連接座下端，旋轉(zhuǎn)軸豎直安裝于卡板上端，活動結(jié)構(gòu)活動連接于連接座上端，本發(fā)明在連接座下端設(shè)置了密封結(jié)構(gòu)，防止粉塵飄出，進而保護了工作臺內(nèi)側(cè)，使工件放置座的切換更加順暢；在連桿結(jié)構(gòu)下端設(shè)置了密封板，防止粉塵飄出，并且更好的對粉塵進行收集，減少了粉塵的附著。