一種對比式抗干擾微動角反射鏡激光干涉儀及標定方法和測量方法
- 專利號:2015102896795 類型:發明專利 瀏覽:23次 發布時間:2025-11-28
本發明涉及一種精密測試技術及儀器領域,特別涉及一種對比式抗干擾微動角反射鏡激光干涉儀及標定方法和測量方法,所述對比式抗干擾微動角反射鏡激光干涉儀,包括有激光源、微動角反射鏡、干涉測量光電探測器、移動角反射鏡、分光鏡組和微動平臺,所述微動角反射鏡設置在所述微動平臺上,還包括有反射測量光電探測器,激光束經所述移動角反射鏡反射至所述分光鏡組后還形成有反射激光束,所述反射激光束射向所述反射測量光電探測器。本申請的激光干涉儀,由于反射測量光電探測器可以測量移動角反射鏡反射激光束的強度,根據反射激光束的強度確定激光干涉光束的干涉狀態,如此實現抗環境干擾的目的。


