一種半導體封裝用主板的光刻裝置及其工作方法
- 專利號:2019106838763 類型:發明專利 瀏覽:28次 發布時間:2025-11-28
本發明公開了一種半導體封裝用主板的光刻裝置,包括托裝柜和加工盤,所述加工盤水平設置在所述托裝柜上端面,其中,所述加工盤底部水平設置有托板,所述托板上方設置有光刻臺,且所述托板兩端邊緣處均設置側裝板,兩個所述側裝板底部等間距平行設置有若干個固定桿。本發明的有益效果是:通過第一液壓泵帶動頂夾板上下活動,調節對主板的夾接固定位置,保證該裝置能對不同寬度、長度的主板進行頂夾固定,保證了適配的廣泛性,且通過若干個鈍角三角形結構的橡膠塊與主板端部貼合,橡膠塊與主板端部的接觸面積更大,在使主板被光刻時更加牢固的同時,且保證主板與頂夾板不會發生擦碰損壞,提高了主板被光刻的質量以及該裝置各部件的使用壽命。
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