本發明涉及微納結構制備領域，具體涉及一種金屬螺旋微納結構的制備方法，采用涂敷光刻膠，再用電子束刻蝕，最后顯影定影的方法制備金屬螺旋結構。制備過程只需將寫場對準一次，分別曝光四個區域，且只需要蒸鍍一次就可以制備出金屬螺旋型結構。該結構四周都由光刻膠包圍著，可以起到保護金屬螺旋微納結構的作用。