公開了一種電池元件的制備工藝，利用納米碳管本身是一維納米材料的特性，具有較大比表面積與高導電性、高強度及化學性穩定等特點來提升CuIn(S,Se)太陽能電池的光電轉換效率，但納米碳管容易受范德華力影響互相糾結在一起。所以本發明利用等離子改質過的納米碳管，讓其能均勻分布在CuIn(S,Se)吸收層中，利用碳管的高導電特性增加CuIn(S,Se)太陽能電池內部的載子傳遞速率，提升光電效率。具有如下優勢：(1)、降低薄膜太陽能電池制作成本；(2)、增加薄膜太陽能電池效率。