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一種便于固定的化學機械拋光設備
- 專利號:2019110451096 類型:發(fā)明專利 瀏覽:31次 發(fā)布時間:2025-12-9
本發(fā)明公開了一種便于固定的化學機械拋光設備,一種便于固定的化學機械拋光設備,包括設備主體、第一轉(zhuǎn)軸、第一齒輪、螺紋套筒、電動伸縮板、第二轉(zhuǎn)軸、第三齒輪、螺旋連桿、清洗噴頭、拋光臺、待拋光半導體、調(diào)節(jié)閥和出液管,所述設備主體的側(cè)端設置有驅(qū)動電機。該便于固定的化學機械拋光設備中設置有限位孔和電動伸縮板,根據(jù)不同的待拋光半導體形狀,選取與半導體形狀相同的限位孔,將待拋光半導體防置在限位孔內(nèi),能夠?qū)Υ龗伖獍雽w起到水平方向的固定作用,電動伸縮板能夠完成豎直方向上的伸縮移動,能夠?qū)Υ龗伖獍雽w施加向下的擠壓力,使待拋光半導體貼合在拋光臺上,進行拋光,能夠?qū)Υ龗伖獍雽w起到豎直方向的固定作用。
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